光学欠陥検査

ＦＰＤ各種部材
光学手法による欠陥検査・評価HEADLINE

Optics Inspectin

超広視野共焦点型・高分解能１μｍ微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる　計測時間：１μｍ分解能約３５秒　5μｍ分解能約１０秒　●計測幅：0.8μｍ深さ：５nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。　●キズや深い穴の欠陥も検出可。

レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した新しい観　察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査　レンス　・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像　で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
　走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
　レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

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レーザ走査イメージャの用途
透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出
セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出
蒸着膜の剥離などの観察
小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得
微小な面の反りの精密計測
大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

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