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株式会社 ワイ・ドライブはプリンテッド・エレクトロニクス技術・開発を追及する会社です。

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〒575-0021  大阪府四條畷市南野1丁目14番16号

FPD各種部材
光学手法による欠陥検査・評価
HEADLINE

Optics Inspectin

 

超広視野共焦点型・高分解能1μm微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる 計測時間:1μm分解能 約35秒 5μm分解能 約10秒 ●計測幅:0.8μm 深さ:5nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。


レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観 察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の100倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査 レンス ・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像 で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
 走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
 レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です


       資料閲覧   FPD光学欠陥検査



レーザ走査イメージャの用途
透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出
セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出
蒸着膜の剥離などの観察
小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得
微小な面の反りの精密計測
大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察
















      3Dレーザ顕微鏡   Fθレーザ露光機

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 関西ものづくり新選2014に選定されました
ものづくり新選
  関西ものづくり新選2014

    匠
  大阪ものづくり優良企業賞2014認定





中小企業新技術

中小企業優秀新技術賞
優秀賞受賞